R41制冷劑(一氟甲烷,氟甲烷，甲基氟、氟利昂41、HFC-41)，是生產氟溴甲烷的原料。
高純HFC-41氣體是一種綠色、高效的新型蝕刻氣，可選擇性地蝕刻硅化合物的薄膜，常用于半導體及電子產品的蝕刻制程中。
R41制冷劑參數
高純HFC-41氣體是一種綠色、高效的新型蝕刻氣，可選擇性地蝕刻硅化合物的薄膜，常用于半導體及電子產品的蝕刻制程中。
R41制冷劑參數
| 名稱：氟甲烷;甲基氟,一氟甲烷R41,HFC-41，F-41 | 英文全稱：fluoromethane |
| 化學分子式:CH3F | 分子量：34 |
| 摩爾質量：34g/mol | 三相點溫度：-143.33℃ |
| 標準沸點：-78.31℃ | 沸臨界溫度：44.13℃ |
| 臨界壓力：5.897MPa（絕壓） | 臨界密度：316.5kg/m3 |
| 凝固點：-142℃ | CAS編號：593-53-3 |
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